HORIBA晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312介紹

2025-11-05 08:00

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312

上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司位于上海浦東新區(qū)，致力于為高科技行業(yè)提供流量控制與過(guò)程連接解決方案。公司與國(guó)際知名品牌如美國(guó)KING、Dwyer、日本HORIBA等保持長(zhǎng)期合作，其中HORIBA已代理15年。今天，我們將介紹HORIBA GR-300系列中的核心產(chǎn)品：晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312。

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產(chǎn)品概述：HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312專為控制用于冷卻晶圓背面的氣體而設(shè)計(jì)。通過(guò)靜電卡盤系統(tǒng)，晶圓被安全固定到位。GR-312的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

HORIBA GR-312產(chǎn)品圖

核心技術(shù)參數(shù)解析：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312的核心優(yōu)點(diǎn)在于其壓力控制的穩(wěn)定性和精確性。即使在壓差非常低的情況下，GR-312仍能使用精度壓電閥來(lái)控制壓力。該產(chǎn)品安裝了精度的壓力傳感器，能夠測(cè)量<1%F.S范圍內(nèi)的出口壓力。此外，質(zhì)量流量傳感器（可選）也可用于氣體流量監(jiān)測(cè)，實(shí)現(xiàn)自診斷功能。

典型應(yīng)用場(chǎng)景：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是在晶圓加工過(guò)程中。通過(guò)應(yīng)用HORIBA STEC成熟的流體控制技術(shù)，GR-312能夠?qū)崿F(xiàn)微小差壓控制，這對(duì)于精密半導(dǎo)體制造過(guò)程至關(guān)重要。此外，該產(chǎn)品符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)，使用環(huán)保材料，確保對(duì)環(huán)境無(wú)害。

優(yōu)勢(shì)亮點(diǎn)總結(jié)：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312的優(yōu)勢(shì)在于其精確的壓力控制和穩(wěn)定性。它采用成熟的流體控制技術(shù)，確保在不同操作條件下的一致性能。通過(guò)添加氣體流量監(jiān)測(cè)功能，GR-312不僅能夠監(jiān)測(cè)流量，還能提供自診斷功能，進(jìn)一步提高系統(tǒng)的可靠性。此外，符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)意味著該產(chǎn)品在使用過(guò)程中不會(huì)對(duì)環(huán)境造成危害。

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