日本 HORIBA 堀場(chǎng) S49 33/MT 氣體質(zhì)量流量控制器

2025-08-25 17:24

HORIBA 堀場(chǎng) S49 33/MT 產(chǎn)品概述

HORIBA STEC S49 33/MT 是一款高性能氣體質(zhì)量流量控制器，采用熱式傳感原理，專(zhuān)為精密工業(yè)氣體控制場(chǎng)景設(shè)計(jì)，具備穩(wěn)定的流量調(diào)節(jié)性能和優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)能力。該系列產(chǎn)品由日本原裝制造，延續(xù) HORIBA STEC 半個(gè)多世紀(jì)在流體控制領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于鍍膜、表面處理、配氣等高精度控制流程中。

S49 33/MT應(yīng)用場(chǎng)景

  • 真空鍍膜：確保薄膜沉積過(guò)程中氣體比例精準(zhǔn)控制，提高膜層均勻性與制程穩(wěn)定性。

  • 表面處理：在等離子清洗、蝕刻等工藝中提供精確的氣體輸入，優(yōu)化反應(yīng)效果。

  • 配氣系統(tǒng)：適用于多氣體混合設(shè)備，保證各通道流量比例的一致性與響應(yīng)速度。

S49 33/MT流量規(guī)格范圍

  • 小流量范圍（單位：mL/min）：5、10、30、50、100、200、300、500

  • 中大流量范圍（單位：L/min）：1、2、3、5、10、15、20、30

用戶(hù)可根據(jù)實(shí)際氣體種類(lèi)與系統(tǒng)需求選擇對(duì)應(yīng)規(guī)格型號(hào)，靈活匹配不同工藝參數(shù)。

HORIBA品牌技術(shù)優(yōu)勢(shì)

HORIBA STEC 是全球知名的氣體流量控制專(zhuān)家，具備以下技術(shù)特性：

  • 熱式質(zhì)量流量傳感器，響應(yīng)快、線性好、重復(fù)性高

  • 高穩(wěn)定性控制電路，抗干擾強(qiáng)、溫漂小

  • 堅(jiān)固緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適配多種安裝環(huán)境

  • 擁有豐富的氣體標(biāo)定數(shù)據(jù)庫(kù)，適配氫氣、氮?dú)狻鍤?、氦氣等多種氣體

推薦搭配使用

本產(chǎn)品可搭配 HORIBA 的 UR-Z700 壓力控制器或 S48/S49 系列 MFC 數(shù)字控制器共同使用，實(shí)現(xiàn)流量+壓力的閉環(huán)協(xié)同控制，滿(mǎn)足復(fù)雜工藝對(duì)高精度流量與動(dòng)態(tài)響應(yīng)的雙重要求。